Hologrammes Synthétisés par Ordinateur
Phototraceur
parallèle
Laboratoire de Photolithographie
Tournettes
Déposition sous vide
Fours
Plaques chauffantes
Aligneur de masque MJB3
Réalisation de Masques
Phototraceur rapide Mivatec 1648
Photo-répéteurs David Mann et CGA
Ecriture directe en photo-résine
Ecriture rapide en photo-résine de structures continues en relief avec un photo-traceur parallèle (1 4700 000 pixels par insolation)
Caractérisation des composants
Microscope interférométrique
Microscope Mach-Zehnder
Microscopes d'inspection
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Caractéristiques techniques |
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| Matériaux |
Photo-résine ou Sol-Gel hybride sur Verre ou Silice |
| Longueurs d'onde |
A partir de 350nm Jusqu'à 2000nm (déphasage de 2*PI) |
| Grille d'adressage | A partir de 300nm |
| Taille des motifs | A partir de 2 microns |
| Taille de substrat | Jusqu'à 100x100mm² |
| Niveaux de phase |
Binaire Multi-niveaux (+16 niveaux) |
| Mode de fonctionnement |
Transmission Réflexion (avec dépôt d'or) |